真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
6期
447-449
,共3页
张军%袁璟%杜秉初%李德杰
張軍%袁璟%杜秉初%李德傑
장군%원경%두병초%리덕걸
场发射显示(FED) 封接 排气
場髮射顯示(FED) 封接 排氣
장발사현시(FED) 봉접 배기
真空的获得和维持是目前FED研究工作中存在的主要困难之一.本文研究了在现有的传统封接排气以及消气工艺的实验条件下,进行了多种工艺改进:设计了一种新型的三层FED器件结构,在这种结构中,实现了蒸散型消气剂和非蒸散型消气剂的共同使用;并采用了气体保护,以及电子轰击去气等有效措施,实现了FED器件内部持久的高真空度,为FED阴极高稳定、长寿命工作提供了有力的保障.
真空的穫得和維持是目前FED研究工作中存在的主要睏難之一.本文研究瞭在現有的傳統封接排氣以及消氣工藝的實驗條件下,進行瞭多種工藝改進:設計瞭一種新型的三層FED器件結構,在這種結構中,實現瞭蒸散型消氣劑和非蒸散型消氣劑的共同使用;併採用瞭氣體保護,以及電子轟擊去氣等有效措施,實現瞭FED器件內部持久的高真空度,為FED陰極高穩定、長壽命工作提供瞭有力的保障.
진공적획득화유지시목전FED연구공작중존재적주요곤난지일.본문연구료재현유적전통봉접배기이급소기공예적실험조건하,진행료다충공예개진:설계료일충신형적삼층FED기건결구,재저충결구중,실현료증산형소기제화비증산형소기제적공동사용;병채용료기체보호,이급전자굉격거기등유효조시,실현료FED기건내부지구적고진공도,위FED음겁고은정、장수명공작제공료유력적보장.
