Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究
Ge-Sb-Te-O상변박막적결정동역학연구
Crystallization Kinetics of Ge-Sb-Te-O Phase-Change Thin Films
  • 万方数据
    无机材料学报 무궤재료학보
    JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
    2002年 6期 1258-1262 ,共5页

    顾四朋%侯立松

    고사붕%후립송

    Ge-Sb-Te相变薄膜%氧掺杂%XRD%DSC%结晶动力学 Ge-Sb-Te相變薄膜%氧摻雜%XRD%DSC%結晶動力學
    Ge-Sb-Te상변박막%양참잡%XRD%DSC%결정동역학
    用磁控溅射法制备了Ge-Sb-Te和Ge-Sb-Te-O相变材料薄膜,由热处理前后薄膜的X射线衍射(XRD)发现,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测出不同加热速率条件下的结晶峰温度,并计算了材料的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.根据结晶动力学结晶活化能E判据得出结论为:与Ge-Sb-Te相比,掺杂氧后的Ge-Sb-Te更容易析晶,具有更快的结晶速率.
    용자공천사법제비료Ge-Sb-Te화Ge-Sb-Te-O상변재료박막,유열처리전후박막적X사선연사(XRD)발현,열처리사박막발생료종비정태도정태적상변.통과비정태박막분말적시차소묘량열(DSC)실험측출불동가열속솔조건하적결정봉온도,병계산료재료적마이결정활화능、원자격활능화빈솔인자.근거결정동역학결정활화능E판거득출결론위:여Ge-Sb-Te상비,참잡양후적Ge-Sb-Te경용역석정,구유경쾌적결정속솔.
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