化工进展
化工進展
화공진전
CHEMICAL INDUSTRY AND ENGINEERING PROGRESS
2002年
5期
342-344,359
,共4页
钯膜%制备%膜分离%氢渗透率
鈀膜%製備%膜分離%氫滲透率
파막%제비%막분리%경삼투솔
介绍了钯膜的制备方法及在载体上制备超薄钯膜的改进技术.由无电子电镀过程制备的钯膜对氢渗透速率高,对氢有良好的选择性.由金属有机气相沉积法(MOCVD)在载体孔内沉积钯膜有助于防止氢的脆化作用.利用渗透压的新技术可控制膜的微观结构和孔隙率.将多孔不锈钢作为载体时,利用不同的技术能克服氢的脆化作用,减少钯膜厚度以及防止钯-银层与不锈钢间金属原子的相互扩散.由光催化沉积可在半导体载体上制备超薄钯膜.
介紹瞭鈀膜的製備方法及在載體上製備超薄鈀膜的改進技術.由無電子電鍍過程製備的鈀膜對氫滲透速率高,對氫有良好的選擇性.由金屬有機氣相沉積法(MOCVD)在載體孔內沉積鈀膜有助于防止氫的脆化作用.利用滲透壓的新技術可控製膜的微觀結構和孔隙率.將多孔不鏽鋼作為載體時,利用不同的技術能剋服氫的脆化作用,減少鈀膜厚度以及防止鈀-銀層與不鏽鋼間金屬原子的相互擴散.由光催化沉積可在半導體載體上製備超薄鈀膜.
개소료파막적제비방법급재재체상제비초박파막적개진기술.유무전자전도과정제비적파막대경삼투속솔고,대경유량호적선택성.유금속유궤기상침적법(MOCVD)재재체공내침적파막유조우방지경적취화작용.이용삼투압적신기술가공제막적미관결구화공극솔.장다공불수강작위재체시,이용불동적기술능극복경적취화작용,감소파막후도이급방지파-은층여불수강간금속원자적상호확산.유광최화침적가재반도체재체상제비초박파막.
