真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
3期
209-212,220
,共5页
熊锐%金明桥%刘海林%汤五丰%石兢
熊銳%金明橋%劉海林%湯五豐%石兢
웅예%금명교%류해림%탕오봉%석긍
TbFeCo薄膜%AlN保护层%矫顽力%垂直磁各向异性%本征克尔角
TbFeCo薄膜%AlN保護層%矯頑力%垂直磁各嚮異性%本徵剋爾角
TbFeCo박막%AlN보호층%교완력%수직자각향이성%본정극이각
采用射频磁控溅射法制备了非晶TbFeCo薄膜及其保护层AlN薄膜,并研究保护层对薄膜的磁和磁光特性的影响.结果表明,AlN薄膜可以增强薄膜磁光效应,同时,AlN薄膜对TbFeCo磁光薄膜的矫顽力、垂直磁各向异性以及本征克尔角都有一定的影响.其原因来自于溅射过程中N和Al原子对TbFeCo薄膜表面的轰击而导致的界面特性的改变.
採用射頻磁控濺射法製備瞭非晶TbFeCo薄膜及其保護層AlN薄膜,併研究保護層對薄膜的磁和磁光特性的影響.結果錶明,AlN薄膜可以增彊薄膜磁光效應,同時,AlN薄膜對TbFeCo磁光薄膜的矯頑力、垂直磁各嚮異性以及本徵剋爾角都有一定的影響.其原因來自于濺射過程中N和Al原子對TbFeCo薄膜錶麵的轟擊而導緻的界麵特性的改變.
채용사빈자공천사법제비료비정TbFeCo박막급기보호층AlN박막,병연구보호층대박막적자화자광특성적영향.결과표명,AlN박막가이증강박막자광효응,동시,AlN박막대TbFeCo자광박막적교완력、수직자각향이성이급본정극이각도유일정적영향.기원인래자우천사과정중N화Al원자대TbFeCo박막표면적굉격이도치적계면특성적개변.
