浙江大学学报(理学版)
浙江大學學報(理學版)
절강대학학보(이학판)
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY
2002年
4期
395-399
,共5页
朱炎%狄国庆%陈亚杰%赵登涛
硃炎%狄國慶%陳亞傑%趙登濤
주염%적국경%진아걸%조등도
磁场梯度%磁镜%磁控溅射%辉光%厚度梯度
磁場梯度%磁鏡%磁控濺射%輝光%厚度梯度
자장제도%자경%자공천사%휘광%후도제도
借助于基片下方放置的磁铁,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场.辉光放电时,其外貌发生了显著的收缩,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.
藉助于基片下方放置的磁鐵,在濺射的放電空間中引入瞭縱嚮的梯度磁場.輝光放電時,其外貌髮生瞭顯著的收縮,由此沉積的薄膜在平麵內存在明顯的厚度梯度.用磁場中帶電粒子的運動理論解釋瞭此種薄膜的形成機製.
차조우기편하방방치적자철,재천사적방전공간중인입료종향적제도자장.휘광방전시,기외모발생료현저적수축,유차침적적박막재평면내존재명현적후도제도.용자장중대전입자적운동이론해석료차충박막적형성궤제.
