红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2002年
2期
41-45
,共5页
雷胜琼%姜军%周芳%杨彬
雷勝瓊%薑軍%週芳%楊彬
뢰성경%강군%주방%양빈
64×64铟柱列阵%焦平面%铟柱互连
64×64銦柱列陣%焦平麵%銦柱互連
64×64인주렬진%초평면%인주호련
用铟柱进行探测器芯片与读出电路(ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一.根据现有的工艺设备和实验条件对在64×64ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计,并分析讨论了工艺过程及参数对生长铟柱质量的影响.通过工艺实践验证,在64×64ROIC上生长的铟柱能够基本满足FPA器件倒焊互连要求.
用銦柱進行探測器芯片與讀齣電路(ROIC)之間的電氣和機械連接是混閤紅外焦平麵列陣(FPA)最常用的互連方式之一.根據現有的工藝設備和實驗條件對在64×64ROIC上生長銦柱進行瞭優化工藝設計,併分析討論瞭工藝過程及參數對生長銦柱質量的影響.通過工藝實踐驗證,在64×64ROIC上生長的銦柱能夠基本滿足FPA器件倒銲互連要求.
용인주진행탐측기심편여독출전로(ROIC)지간적전기화궤계련접시혼합홍외초평면렬진(FPA)최상용적호련방식지일.근거현유적공예설비화실험조건대재64×64ROIC상생장인주진행료우화공예설계,병분석토론료공예과정급삼수대생장인주질량적영향.통과공예실천험증,재64×64ROIC상생장적인주능구기본만족FPA기건도한호련요구.
