液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2002年
1期
39-43
,共5页
冯进军%丁明清%张甫权%李兴辉%白国栋%彭自安%廖复疆
馮進軍%丁明清%張甫權%李興輝%白國棟%彭自安%廖複疆
풍진군%정명청%장보권%리흥휘%백국동%팽자안%료복강
平板显示%场致发射阵列阴极%发射稳定性%失效机理%射频器件
平闆顯示%場緻髮射陣列陰極%髮射穩定性%失效機理%射頻器件
평판현시%장치발사진렬음겁%발사은정성%실효궤리%사빈기건
利用微细加工技术和双向薄膜沉积技术对钼尖场发射阵列阴极的工艺进行了较为细致的研究,并在专用的真空系统中对所得阵列阴极的发射性能进行了测试,得到了一定的场致发射电流密度值.测试中采用数据采集系统监测栅极电压、阳极电压、阳极电流和栅极电流,测量了阴极阵列的发射稳定性和发射噪声.对发射的失效机理进行了实验研究和分析,认为发射失效的主要原因在于栅极和基底之间的漏电,尖锥和栅极孔间的暗电流,电极间的放电和放气,以及环境真空度和尖锥的不均匀性等.所得结果对进一步开展在射频器件和显示器件方面的应用研究打下了一定基础.
利用微細加工技術和雙嚮薄膜沉積技術對鉬尖場髮射陣列陰極的工藝進行瞭較為細緻的研究,併在專用的真空繫統中對所得陣列陰極的髮射性能進行瞭測試,得到瞭一定的場緻髮射電流密度值.測試中採用數據採集繫統鑑測柵極電壓、暘極電壓、暘極電流和柵極電流,測量瞭陰極陣列的髮射穩定性和髮射譟聲.對髮射的失效機理進行瞭實驗研究和分析,認為髮射失效的主要原因在于柵極和基底之間的漏電,尖錐和柵極孔間的暗電流,電極間的放電和放氣,以及環境真空度和尖錐的不均勻性等.所得結果對進一步開展在射頻器件和顯示器件方麵的應用研究打下瞭一定基礎.
이용미세가공기술화쌍향박막침적기술대목첨장발사진렬음겁적공예진행료교위세치적연구,병재전용적진공계통중대소득진렬음겁적발사성능진행료측시,득도료일정적장치발사전류밀도치.측시중채용수거채집계통감측책겁전압、양겁전압、양겁전류화책겁전류,측량료음겁진렬적발사은정성화발사조성.대발사적실효궤리진행료실험연구화분석,인위발사실효적주요원인재우책겁화기저지간적루전,첨추화책겁공간적암전류,전겁간적방전화방기,이급배경진공도화첨추적불균균성등.소득결과대진일보개전재사빈기건화현시기건방면적응용연구타하료일정기출.
