中国科学A辑
中國科學A輯
중국과학A집
SCIENCE IN CHINA (SERIES A)
2001年
9期
851-856
,共6页
刘丕均%夏曰源%刘向东%卢贵武
劉丕均%夏曰源%劉嚮東%盧貴武
류비균%하왈원%류향동%로귀무
离子注入%掺杂%Raman光谱%Rutherford背散射测量%晶格%应力
離子註入%摻雜%Raman光譜%Rutherford揹散射測量%晶格%應力
리자주입%참잡%Raman광보%Rutherford배산사측량%정격%응력
0.8 MeV的Si离子注入Al0.25Ga0.75As/GaAs外延薄膜的弱损伤特征 . 注入剂量从1×1014～5×1015 cm-2,对注入后的样品采用了Ra man光谱测量,观察到了两类声子模式,该外延材料的晶格振动显示出"双模”行为. 并计算了在注入层中的应变以及晶格常数随剂量的变化. 此外还测量了样品的Rutherford背散射和沟道谱(RBS/C),结果表明与Raman光谱测量一致的结论:该注入条件只引起材料的弱损伤行为.
0.8 MeV的Si離子註入Al0.25Ga0.75As/GaAs外延薄膜的弱損傷特徵 . 註入劑量從1×1014～5×1015 cm-2,對註入後的樣品採用瞭Ra man光譜測量,觀察到瞭兩類聲子模式,該外延材料的晶格振動顯示齣"雙模”行為. 併計算瞭在註入層中的應變以及晶格常數隨劑量的變化. 此外還測量瞭樣品的Rutherford揹散射和溝道譜(RBS/C),結果錶明與Raman光譜測量一緻的結論:該註入條件隻引起材料的弱損傷行為.
0.8 MeV적Si리자주입Al0.25Ga0.75As/GaAs외연박막적약손상특정 . 주입제량종1×1014～5×1015 cm-2,대주입후적양품채용료Ra man광보측량,관찰도료량류성자모식,해외연재료적정격진동현시출"쌍모”행위. 병계산료재주입층중적응변이급정격상수수제량적변화. 차외환측량료양품적Rutherford배산사화구도보(RBS/C),결과표명여Raman광보측량일치적결론:해주입조건지인기재료적약손상행위.
