光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2001年
6期
676-678
,共3页
石旺舟%梁厚蕴%欧阳艳东
石旺舟%樑厚蘊%歐暘豔東
석왕주%량후온%구양염동
α-Si∶H薄膜%等离子体氧化%蓝光发射
α-Si∶H薄膜%等離子體氧化%藍光髮射
α-Si∶H박막%등리자체양화%람광발사
通过荧光光谱研究了放电等离子体氧化的α-Si∶H薄膜的荧光特性，在450 nm～500 nm范围内常温下观察到强蓝光发射，发光强度随沉积氧化的周期数增加而增强。发射带呈七峰结构，位置分别为460 nm、465 nm、472 nm、478 nm、485 nm、490 nm、496 nm。实验结果直接证明了蓝光发射与缺陷能级有关，其起源于Si-O结合特定组态而形成的发光中心。
通過熒光光譜研究瞭放電等離子體氧化的α-Si∶H薄膜的熒光特性，在450 nm～500 nm範圍內常溫下觀察到彊藍光髮射，髮光彊度隨沉積氧化的週期數增加而增彊。髮射帶呈七峰結構，位置分彆為460 nm、465 nm、472 nm、478 nm、485 nm、490 nm、496 nm。實驗結果直接證明瞭藍光髮射與缺陷能級有關，其起源于Si-O結閤特定組態而形成的髮光中心。
통과형광광보연구료방전등리자체양화적α-Si∶H박막적형광특성，재450 nm～500 nm범위내상온하관찰도강람광발사，발광강도수침적양화적주기수증가이증강。발사대정칠봉결구，위치분별위460 nm、465 nm、472 nm、478 nm、485 nm、490 nm、496 nm。실험결과직접증명료람광발사여결함능급유관，기기원우Si-O결합특정조태이형성적발광중심。
