红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2010年
5期
337-341
,共5页
周松敏%查访星%郭青天%殷菲%李茂森%马洪良%张波
週鬆敏%查訪星%郭青天%慇菲%李茂森%馬洪良%張波
주송민%사방성%곽청천%은비%리무삼%마홍량%장파
碲镉汞%PN结%激光束诱导电流%飞秒激光打孔
碲鎘汞%PN結%激光束誘導電流%飛秒激光打孔
제력홍%PN결%격광속유도전류%비초격광타공
激光束诱导电流(LBIC)检测实验表明,飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响,发现在较低的激光功率范围内,孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型层的厚度也与激光功率基本呈线性关系,但不同激光功率刻蚀所形成孔结构的LBIC信号强度的改变不大.另外,还研究了刻蚀激光在材料中聚焦深度对刻蚀孔LBIC信号的影响,发现该因素的影响并不明显.
激光束誘導電流(LBIC)檢測實驗錶明,飛秒激光刻蝕P型碲鎘汞形成的孔洞結構具有PN結特性.實驗研究瞭激光刻蝕功率、激光聚焦透鏡數值孔徑等參數對刻蝕孔形貌的影響,髮現在較低的激光功率範圍內,孔徑與激光功率基本呈線性關繫.刻蝕孔反型層的厚度也與激光功率基本呈線性關繫,但不同激光功率刻蝕所形成孔結構的LBIC信號彊度的改變不大.另外,還研究瞭刻蝕激光在材料中聚焦深度對刻蝕孔LBIC信號的影響,髮現該因素的影響併不明顯.
격광속유도전류(LBIC)검측실험표명,비초격광각식P형제력홍형성적공동결구구유PN결특성.실험연구료격광각식공솔、격광취초투경수치공경등삼수대각식공형모적영향,발현재교저적격광공솔범위내,공경여격광공솔기본정선성관계.각식공반형층적후도야여격광공솔기본정선성관계,단불동격광공솔각식소형성공결구적LBIC신호강도적개변불대.령외,환연구료각식격광재재료중취초심도대각식공LBIC신호적영향,발현해인소적영향병불명현.
