电测与仪表
電測與儀錶
전측여의표
ELECTRICAL MEASUREMENT & INSTRUMENTATION
2011年
10期
64-68
,共5页
彭建学%叶银忠%刘以建%李建明
彭建學%葉銀忠%劉以建%李建明
팽건학%협은충%류이건%리건명
微电容测量%锁相放大%杂散电容%噪声%直流失调
微電容測量%鎖相放大%雜散電容%譟聲%直流失調
미전용측량%쇄상방대%잡산전용%조성%직류실조
针对传统微电容测量方法的缺点提出了微电容比率测量法.采用带限流电阻的正弦波激励确保激励源和前置放大器正常工作以提高消除杂散电容的能力；检测被测电容两端的电压和流过被测电容的电流计算得到被测电容的电容值；采用锁相检测技术消除噪声和直流失调.给出了微电容测量系统的方案.实验结果表明电容测量分辨率达到了0.01pF,证明了所提出方法的有效性.
針對傳統微電容測量方法的缺點提齣瞭微電容比率測量法.採用帶限流電阻的正絃波激勵確保激勵源和前置放大器正常工作以提高消除雜散電容的能力；檢測被測電容兩耑的電壓和流過被測電容的電流計算得到被測電容的電容值；採用鎖相檢測技術消除譟聲和直流失調.給齣瞭微電容測量繫統的方案.實驗結果錶明電容測量分辨率達到瞭0.01pF,證明瞭所提齣方法的有效性.
침대전통미전용측량방법적결점제출료미전용비솔측량법.채용대한류전조적정현파격려학보격려원화전치방대기정상공작이제고소제잡산전용적능력；검측피측전용량단적전압화류과피측전용적전류계산득도피측전용적전용치；채용쇄상검측기술소제조성화직류실조.급출료미전용측량계통적방안.실험결과표명전용측량분변솔체도료0.01pF,증명료소제출방법적유효성.
