集成电极的PDMS-玻璃微流控芯片的制备
집성전겁적PDMS-파리미류공심편적제비
Fabrication of the PDMS-Glass Microfluidic Chip with Integrated Electrodes
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2012年 1期 56-61 ,共6页

    伍择希%张卫平%陈俊杰%李金凤%陈文元%吴校生%崔峰%刘武%姜川

    오택희%장위평%진준걸%리금봉%진문원%오교생%최봉%류무%강천

    集成电极%PDMS-玻璃%微流控芯片%生物芯片%聚合酶链式反应(PCR)%毛细管电泳(CE)%ANSYS模拟 集成電極%PDMS-玻璃%微流控芯片%生物芯片%聚閤酶鏈式反應(PCR)%毛細管電泳(CE)%ANSYS模擬
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    微流控芯片在分析化学和生物检测方面有着广阔的应用前景.对集成电极的PDMS -玻璃微流控芯片的制备工艺进行了研究与分析.最终使用SU -8快速制备阳模,使用PDMS转移图形得到具有微流控通道的PDMS盖片；在玻璃基板上加工Pt电极,除了需要外露的部分电极外,其他部分以薄层PDMS保护,得到电极基板；将PDMS盖片与电极基板半固化键合制得同时具有加热和温度传导电极以及CE高压电极的PDMS -玻璃芯片.ANSYS模拟分析证明加热芯片热惯性小,加热时温度分布效果好.
    미류공심편재분석화학화생물검측방면유착엄활적응용전경.대집성전겁적PDMS -파리미류공심편적제비공예진행료연구여분석.최종사용SU -8쾌속제비양모,사용PDMS전이도형득도구유미류공통도적PDMS개편；재파리기판상가공Pt전겁,제료수요외로적부분전겁외,기타부분이박층PDMS보호,득도전겁기판；장PDMS개편여전겁기판반고화건합제득동시구유가열화온도전도전겁이급CE고압전겁적PDMS -파리심편.ANSYS모의분석증명가열심편열관성소,가열시온도분포효과호.
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