传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
2期
83-85
,共3页
蒋玉齐%程迎军%许薇%张鲲%李昕欣%罗乐
蔣玉齊%程迎軍%許薇%張鯤%李昕訢%囉樂
장옥제%정영군%허미%장곤%리흔흔%라악
高量程MEMS加速度计%胶粘工艺%圆片级封装
高量程MEMS加速度計%膠粘工藝%圓片級封裝
고량정MEMS가속도계%효점공예%원편급봉장
对一种先进的双悬臂梁高量程MEMS加速度计的单芯片封装工艺进行了失效机理分析.手工粘贴芯片盖板可靠性不高,加速度计失效是由于胶粘剂(粘贴胶或灌封胶)从芯片盖板和芯片的间隙流淌进入悬臂梁的过载保护间隙,阻碍了悬臂梁的摆动.高量程加速度计采用单芯片封装方法时,存在芯片正面和背面保护的可靠性问题,更好的封装方法是采用圆片级封装.黑胶不适宜用作加速度计的贴片胶,至少使用聚酰亚胺膜作背面保护时如此.
對一種先進的雙懸臂樑高量程MEMS加速度計的單芯片封裝工藝進行瞭失效機理分析.手工粘貼芯片蓋闆可靠性不高,加速度計失效是由于膠粘劑(粘貼膠或灌封膠)從芯片蓋闆和芯片的間隙流淌進入懸臂樑的過載保護間隙,阻礙瞭懸臂樑的襬動.高量程加速度計採用單芯片封裝方法時,存在芯片正麵和揹麵保護的可靠性問題,更好的封裝方法是採用圓片級封裝.黑膠不適宜用作加速度計的貼片膠,至少使用聚酰亞胺膜作揹麵保護時如此.
대일충선진적쌍현비량고량정MEMS가속도계적단심편봉장공예진행료실효궤리분석.수공점첩심편개판가고성불고,가속도계실효시유우효점제(점첩효혹관봉효)종심편개판화심편적간극류창진입현비량적과재보호간극,조애료현비량적파동.고량정가속도계채용단심편봉장방법시,존재심편정면화배면보호적가고성문제,경호적봉장방법시채용원편급봉장.흑효불괄의용작가속도계적첩편효,지소사용취선아알막작배면보호시여차.
