中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2005年
5期
702-706
,共5页
吴云峰%叶玉堂%杨先明%秦宇伟%张雪琴
吳雲峰%葉玉堂%楊先明%秦宇偉%張雪琴
오운봉%협옥당%양선명%진우위%장설금
激光技术%半导体%辐射测温%调焦
激光技術%半導體%輻射測溫%調焦
격광기술%반도체%복사측온%조초
将红外辐射测温系统用于半导体基片表面温度测量时,系统的调焦状况将影响测温结果的准确性.对这种影响进行了理论计算.结果表明,当被测高温区面积较大时,可以允许较大的调焦范围.但在激光诱导扩散等激光微细加工工艺中,曝光区直径仅数十微米量级,对系统的调焦提出了较高的要求.计算了在可见光波段和近红外波段两种情况下系统成像物镜的焦距.当成像物镜在波长为0.546μm时的焦距为30 mm,并固定像距为196 mm时,得到在波长为1.335μm时的物距比波长为0.546μm时大1.33 mm.利用这个结果,结合在不同物距时系统对被测高温区进行扫描得到的温度分布,提出了调焦的方法.利用该方法,系统物距可调节到最佳物距为中心±0.05 mm的范围内,满足了微小面元温度测量的要求.
將紅外輻射測溫繫統用于半導體基片錶麵溫度測量時,繫統的調焦狀況將影響測溫結果的準確性.對這種影響進行瞭理論計算.結果錶明,噹被測高溫區麵積較大時,可以允許較大的調焦範圍.但在激光誘導擴散等激光微細加工工藝中,曝光區直徑僅數十微米量級,對繫統的調焦提齣瞭較高的要求.計算瞭在可見光波段和近紅外波段兩種情況下繫統成像物鏡的焦距.噹成像物鏡在波長為0.546μm時的焦距為30 mm,併固定像距為196 mm時,得到在波長為1.335μm時的物距比波長為0.546μm時大1.33 mm.利用這箇結果,結閤在不同物距時繫統對被測高溫區進行掃描得到的溫度分佈,提齣瞭調焦的方法.利用該方法,繫統物距可調節到最佳物距為中心±0.05 mm的範圍內,滿足瞭微小麵元溫度測量的要求.
장홍외복사측온계통용우반도체기편표면온도측량시,계통적조초상황장영향측온결과적준학성.대저충영향진행료이론계산.결과표명,당피측고온구면적교대시,가이윤허교대적조초범위.단재격광유도확산등격광미세가공공예중,폭광구직경부수십미미량급,대계통적조초제출료교고적요구.계산료재가견광파단화근홍외파단량충정황하계통성상물경적초거.당성상물경재파장위0.546μm시적초거위30 mm,병고정상거위196 mm시,득도재파장위1.335μm시적물거비파장위0.546μm시대1.33 mm.이용저개결과,결합재불동물거시계통대피측고온구진행소묘득도적온도분포,제출료조초적방법.이용해방법,계통물거가조절도최가물거위중심±0.05 mm적범위내,만족료미소면원온도측량적요구.
