华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2006年
2期
61-65
,共5页
向鹏飞%陈俊芳%蒙高庆%胡社军%吴先球%符斯列%李赟
嚮鵬飛%陳俊芳%矇高慶%鬍社軍%吳先毬%符斯列%李赟
향붕비%진준방%몽고경%호사군%오선구%부사렬%리빈
氮化铝%TCP离子源%低温沉积%朗缪尔探针
氮化鋁%TCP離子源%低溫沉積%朗繆爾探針
담화려%TCP리자원%저온침적%랑무이탐침
采用射频TCP(Transverse coupled plasma)等离子体辅助电子枪蒸发技术首次在室温下制备了氮化铝薄膜,用傅立叶变换红外光谱仪分析了氮化铝薄膜红外光谱的特性.利用朗缪尔静电单探针诊断了射频TCP离子束辅助电子枪蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度的空间分布规律,并分析了气压对等离子体分布的影响.离子源口等离子体密度较大,但分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小,分布趋向于均匀.
採用射頻TCP(Transverse coupled plasma)等離子體輔助電子鎗蒸髮技術首次在室溫下製備瞭氮化鋁薄膜,用傅立葉變換紅外光譜儀分析瞭氮化鋁薄膜紅外光譜的特性.利用朗繆爾靜電單探針診斷瞭射頻TCP離子束輔助電子鎗蒸髮鍍膜裝置反應室內等離子體密度的空間分佈規律,併分析瞭氣壓對等離子體分佈的影響.離子源口等離子體密度較大,但分佈不均勻;反應室內等離子體迅速擴散,密度變小,分佈趨嚮于均勻.
채용사빈TCP(Transverse coupled plasma)등리자체보조전자창증발기술수차재실온하제비료담화려박막,용부립협변환홍외광보의분석료담화려박막홍외광보적특성.이용랑무이정전단탐침진단료사빈TCP리자속보조전자창증발도막장치반응실내등리자체밀도적공간분포규률,병분석료기압대등리자체분포적영향.리자원구등리자체밀도교대,단분포불균균;반응실내등리자체신속확산,밀도변소,분포추향우균균.
