红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
3期
294-296,313
,共4页
液相外延%碲镉汞%缺陷
液相外延%碲鎘汞%缺陷
액상외연%제력홍%결함
液相外延是制备HgCdTe薄膜材料的一项成熟技术,大尺寸的外延薄膜是研制HgCdTe红外焦平面列阵的基础.探讨了尺寸为30 mm×40 mm的HgCdTe液相外延薄膜生长技术,用红外透射光谱和X光貌相技术对材料进行了评价.并对HgCdTe薄膜表面的黑点缺陷、波纹起伏等特征形貌进行了讨论,指出黑点缺陷是杂质粒子在薄膜表面形成的包裹体,而表面波纹是由生长母液中的对流引起的.
液相外延是製備HgCdTe薄膜材料的一項成熟技術,大呎吋的外延薄膜是研製HgCdTe紅外焦平麵列陣的基礎.探討瞭呎吋為30 mm×40 mm的HgCdTe液相外延薄膜生長技術,用紅外透射光譜和X光貌相技術對材料進行瞭評價.併對HgCdTe薄膜錶麵的黑點缺陷、波紋起伏等特徵形貌進行瞭討論,指齣黑點缺陷是雜質粒子在薄膜錶麵形成的包裹體,而錶麵波紋是由生長母液中的對流引起的.
액상외연시제비HgCdTe박막재료적일항성숙기술,대척촌적외연박막시연제HgCdTe홍외초평면렬진적기출.탐토료척촌위30 mm×40 mm적HgCdTe액상외연박막생장기술,용홍외투사광보화X광모상기술대재료진행료평개.병대HgCdTe박막표면적흑점결함、파문기복등특정형모진행료토론,지출흑점결함시잡질입자재박막표면형성적포과체,이표면파문시유생장모액중적대류인기적.
