传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
2期
78-79,86
,共3页
绝压传感器%陶瓷/钛合金%焊接%真空密封腔
絕壓傳感器%陶瓷/鈦閤金%銲接%真空密封腔
절압전감기%도자/태합금%한접%진공밀봉강
高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔.对实现真空封装过程中陶瓷/钛合金焊接技术进行了研究,焊接过程中由于存在焊接应力,容易发生陶瓷碎裂情况,通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数,实现了较高要求的真空封装,并对焊接后的试验件进行了试验分析,结果表明:焊接强度和密封腔体的漏率满足实际产品应用要求.
高溫絕對壓力傳感器需要形成耐高溫的真空密封腔.對實現真空封裝過程中陶瓷/鈦閤金銲接技術進行瞭研究,銲接過程中由于存在銲接應力,容易髮生陶瓷碎裂情況,通過設計銲接呎吋、選擇金屬化材料、設計降溫過程、試驗設計工藝參數,實現瞭較高要求的真空封裝,併對銲接後的試驗件進行瞭試驗分析,結果錶明:銲接彊度和密封腔體的漏率滿足實際產品應用要求.
고온절대압력전감기수요형성내고온적진공밀봉강.대실현진공봉장과정중도자/태합금한접기술진행료연구,한접과정중유우존재한접응력,용역발생도자쇄렬정황,통과설계한접척촌、선택금속화재료、설계강온과정、시험설계공예삼수,실현료교고요구적진공봉장,병대한접후적시험건진행료시험분석,결과표명:한접강도화밀봉강체적루솔만족실제산품응용요구.
