人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
3期
644-648
,共5页
侯丽莉%马书懿%陈海霞%孟军霞%贾迎飞%陶亚明%尚小荣
侯麗莉%馬書懿%陳海霞%孟軍霞%賈迎飛%陶亞明%尚小榮
후려리%마서의%진해하%맹군하%가영비%도아명%상소영
ZnO薄膜%缓冲层%晶体结构%光致发光
ZnO薄膜%緩遲層%晶體結構%光緻髮光
ZnO박막%완충층%정체결구%광치발광
用射频反应磁控溅射法在玻璃基底上分别以SnO2、SiO2和Al2O3为缓冲层制备ZnO薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计和荧光分光光度计对薄膜的结构和光学性能进行了表征.XRD和SEM的分析结果表明,在SiO2和Al2O3缓冲层上生长的ZnO薄膜具有较好的c轴择优取向,薄膜表面光滑平整,薄膜的结晶质量得到改善;透射光谱表明所有样品在可见光范围内的平均透过率超过70%;通过对薄膜光致发光谱的分析,认为422 nm左右的紫峰来自于电子从晶粒边界的界面缺陷能级到价带的辐射跃迁;PL谱中蓝光和绿光的发光机制与薄膜中的本征缺陷有关.
用射頻反應磁控濺射法在玻璃基底上分彆以SnO2、SiO2和Al2O3為緩遲層製備ZnO薄膜.利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電鏡(SEM)、紫外-可見分光光度計和熒光分光光度計對薄膜的結構和光學性能進行瞭錶徵.XRD和SEM的分析結果錶明,在SiO2和Al2O3緩遲層上生長的ZnO薄膜具有較好的c軸擇優取嚮,薄膜錶麵光滑平整,薄膜的結晶質量得到改善;透射光譜錶明所有樣品在可見光範圍內的平均透過率超過70%;通過對薄膜光緻髮光譜的分析,認為422 nm左右的紫峰來自于電子從晶粒邊界的界麵缺陷能級到價帶的輻射躍遷;PL譜中藍光和綠光的髮光機製與薄膜中的本徵缺陷有關.
용사빈반응자공천사법재파리기저상분별이SnO2、SiO2화Al2O3위완충층제비ZnO박막.이용X사선연사의(XRD)、소묘전경(SEM)、자외-가견분광광도계화형광분광광도계대박막적결구화광학성능진행료표정.XRD화SEM적분석결과표명,재SiO2화Al2O3완충층상생장적ZnO박막구유교호적c축택우취향,박막표면광활평정,박막적결정질량득도개선;투사광보표명소유양품재가견광범위내적평균투과솔초과70%;통과대박막광치발광보적분석,인위422 nm좌우적자봉래자우전자종정립변계적계면결함능급도개대적복사약천;PL보중람광화록광적발광궤제여박막중적본정결함유관.
