科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2011年
4期
736-739
,共4页
周庚侠%班书宝%顾济华%孙天玉%吴东岷
週庚俠%班書寶%顧濟華%孫天玉%吳東岷
주경협%반서보%고제화%손천옥%오동민
微立体光刻%复合材料%曝光量阈值%穿透深度
微立體光刻%複閤材料%曝光量閾值%穿透深度
미입체광각%복합재료%폭광량역치%천투심도
微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术.在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数.对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60.根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮.
微立體光刻技術是基于快速原型製造技術思想的新型微細加工技術.在微立體光刻製造中,光敏樹脂在一定波長的光照下髮生固化反應,光敏樹脂的曝光量閾值和透射深度是光敏樹脂的兩箇重要的特性參數.對摻入質量比20%氧化硅納米顆粒自行製備的光敏樹脂的兩種特性值進行測試研究,測量得到光敏樹脂在氮氣環境中比與在空氣中的曝光量閾值小,分彆為5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收劑後的透射深度比不加入光吸收劑的透射深度小,分彆為14以及60.根據測量的樹脂的特性值,使用實驗室開髮的微反射鏡動態掩膜微立體光刻繫統,成功製作微齒輪.
미입체광각기술시기우쾌속원형제조기술사상적신형미세가공기술.재미입체광각제조중,광민수지재일정파장적광조하발생고화반응,광민수지적폭광량역치화투사심도시광민수지적량개중요적특성삼수.대참입질량비20%양화규납미과립자행제비적광민수지적량충특성치진행측시연구,측량득도광민수지재담기배경중비여재공기중적폭광량역치소,분별위5.6 mJ/cm2이급86.5 mJ/cm2;가입광흡수제후적투사심도비불가입광흡수제적투사심도소,분별위14이급60.근거측량적수지적특성치,사용실험실개발적미반사경동태엄막미입체광각계통,성공제작미치륜.
