真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
1期
61-66
,共6页
兰惠清%崔俊豪%加藤孝久
蘭惠清%崔俊豪%加籐孝久
란혜청%최준호%가등효구
掺硅类金刚石膜%结构%摩擦%硬度
摻硅類金剛石膜%結構%摩抆%硬度
참규류금강석막%결구%마찰%경도
以甲苯(C7H8)和四甲基硅烷(Si(CH3)4)的混合气体为反应气源,使用离子气相沉积 技术制备了不同Si含量(原子比)(不超过20%)的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,用X射线 光电子谱和拉曼光谱测出薄膜和对磨钢球上转移膜的微观结构,纳米压痕仪、摩擦试验机和电子 探针微分析仪分别得到薄膜的硬度、摩擦系数、磨痕和转移膜的元素变化结果.结果表明, 添加少量Si能提高Si-DLC薄膜的硬度,但是Si含量的进一步增加则使薄膜的硬度降低.而 薄膜的摩擦系数始终随着Si含量的增加而减少.从摩擦实验后钢球表面转移膜的进一步分析 ,我们认为该薄膜的低摩擦特性是由于转移膜的增加和石墨化两者共同造成的结果.
以甲苯(C7H8)和四甲基硅烷(Si(CH3)4)的混閤氣體為反應氣源,使用離子氣相沉積 技術製備瞭不同Si含量(原子比)(不超過20%)的摻硅類金剛石(Si-DLC)薄膜,用X射線 光電子譜和拉曼光譜測齣薄膜和對磨鋼毬上轉移膜的微觀結構,納米壓痕儀、摩抆試驗機和電子 探針微分析儀分彆得到薄膜的硬度、摩抆繫數、磨痕和轉移膜的元素變化結果.結果錶明, 添加少量Si能提高Si-DLC薄膜的硬度,但是Si含量的進一步增加則使薄膜的硬度降低.而 薄膜的摩抆繫數始終隨著Si含量的增加而減少.從摩抆實驗後鋼毬錶麵轉移膜的進一步分析 ,我們認為該薄膜的低摩抆特性是由于轉移膜的增加和石墨化兩者共同造成的結果.
이갑분(C7H8)화사갑기규완(Si(CH3)4)적혼합기체위반응기원,사용리자기상침적 기술제비료불동Si함량(원자비)(불초과20%)적참규류금강석(Si-DLC)박막,용X사선 광전자보화랍만광보측출박막화대마강구상전이막적미관결구,납미압흔의、마찰시험궤화전자 탐침미분석의분별득도박막적경도、마찰계수、마흔화전이막적원소변화결과.결과표명, 첨가소량Si능제고Si-DLC박막적경도,단시Si함량적진일보증가칙사박막적경도강저.이 박막적마찰계수시종수착Si함량적증가이감소.종마찰실험후강구표면전이막적진일보분석 ,아문인위해박막적저마찰특성시유우전이막적증가화석묵화량자공동조성적결과.
