江南大学学报（自然科学版）
江南大學學報（自然科學版）
강남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHERN YANGTZE UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2012年
3期
300-304
,共5页
传感器%敏感元件%叉指电极%分布电阻%计算方法
傳感器%敏感元件%扠指電極%分佈電阻%計算方法
전감기%민감원건%차지전겁%분포전조%계산방법
叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极.给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的SuO2,通过实验测量其电阻,并与理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好地验证了此计算方法的正确性.
扠指電極的應用比較廣汎,尤其是用作敏感元件的電極.給齣瞭一種扠指結構電極間分佈電阻的計算方法,在理論分析計算的基礎上,選取瞭幾種常用呎吋的扠指電極,在中間均勻塗上摻雜的SuO2,通過實驗測量其電阻,併與理論計算的結果進行比較,實際測量結果較好地驗證瞭此計算方法的正確性.
차지전겁적응용비교엄범,우기시용작민감원건적전겁.급출료일충차지결구전겁간분포전조적계산방법,재이론분석계산적기출상,선취료궤충상용척촌적차지전겁,재중간균균도상참잡적SuO2,통과실험측량기전조,병여이론계산적결과진행비교,실제측량결과교호지험증료차계산방법적정학성.
