中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2003年
12期
1111-1115
,共5页
顾四朋%侯立松%刘波%陈静
顧四朋%侯立鬆%劉波%陳靜
고사붕%후립송%류파%진정
薄膜物理学%Ge-Sb-Te薄膜%氧杂质%光学常数%X射线衍射
薄膜物理學%Ge-Sb-Te薄膜%氧雜質%光學常數%X射線衍射
박막물이학%Ge-Sb-Te박막%양잡질%광학상수%X사선연사
研究了氧掺杂Ge-Sb-Te磁控溅射相变薄膜在400～800 nm区域的光学常数(n,k),发现不同氧成分薄膜的光学性质有较大差别,经过热处理后薄膜的光学性质也发生了较大变化.由热处理前后薄膜的X射线衍射(XRD)发现,经过退火处理后薄膜发生了从非晶态到晶态的相变.由薄膜内应力变化和薄膜的结构变化解释了薄膜光学性质的变化.
研究瞭氧摻雜Ge-Sb-Te磁控濺射相變薄膜在400～800 nm區域的光學常數(n,k),髮現不同氧成分薄膜的光學性質有較大差彆,經過熱處理後薄膜的光學性質也髮生瞭較大變化.由熱處理前後薄膜的X射線衍射(XRD)髮現,經過退火處理後薄膜髮生瞭從非晶態到晶態的相變.由薄膜內應力變化和薄膜的結構變化解釋瞭薄膜光學性質的變化.
연구료양참잡Ge-Sb-Te자공천사상변박막재400～800 nm구역적광학상수(n,k),발현불동양성분박막적광학성질유교대차별,경과열처리후박막적광학성질야발생료교대변화.유열처리전후박막적X사선연사(XRD)발현,경과퇴화처리후박막발생료종비정태도정태적상변.유박막내응력변화화박막적결구변화해석료박막광학성질적변화.
