功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
1期
54-58
,共5页
杨艺榕%刘文平%王跃林%吴亚明
楊藝榕%劉文平%王躍林%吳亞明
양예용%류문평%왕약림%오아명
MEMS光开关%(110)硅各向异性腐蚀%深反应离子刻蚀
MEMS光開關%(110)硅各嚮異性腐蝕%深反應離子刻蝕
MEMS광개관%(110)규각향이성부식%심반응리자각식
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.
提齣併製作瞭轉動豎直微鏡的微機械光開關,採用麯線形狀的電極設計,有效地減低瞭懸臂樑驅動器的吸閤電壓,採用體硅深刻蝕技術結閤(110)硅的各嚮異性腐蝕技術製備瞭光開關芯片和耦閤對準的U形槽和卡簧.芯片經初步封裝後進行瞭電學測試和光學測試,測得吸閤電壓78.5V,諧振頻率2.3kHz,光開關損耗5dB,隔離度45dB.
제출병제작료전동수직미경적미궤계광개관,채용곡선형상적전겁설계,유효지감저료현비량구동기적흡합전압,채용체규심각식기술결합(110)규적각향이성부식기술제비료광개관심편화우합대준적U형조화잡황.심편경초보봉장후진행료전학측시화광학측시,측득흡합전압78.5V,해진빈솔2.3kHz,광개관손모5dB,격리도45dB.
