光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
2期
235-238
,共4页
谌廷政%吕海宝%曹聚亮%漆新民
諶廷政%呂海寶%曹聚亮%漆新民
심정정%려해보%조취량%칠신민
物理光学%光栅设计%相位补偿%模型%仿真%灰度掩模
物理光學%光柵設計%相位補償%模型%倣真%灰度掩模
물리광학%광책설계%상위보상%모형%방진%회도엄모
设计了一种新型同面相位补偿型等腰闪耀光栅.等腰设计保证了正负衍射级对称分布在光栅法线两侧;通过优化设计同面相位补偿槽的大小,可使衍射能量向中间级次转移,只保留两个衍射极大值方向,抑制0级和高衍射级能量分布,避免能量的浪费,而且降低了高衍射级次光线因刻线阻挡导致的散射噪声,解决了加工对准与多次衍射的难题.通过理论建模和计算机仿真,分析了与反面相位补偿等腰闪耀光栅的差异,绘制了典型的衍射光强分布图.另外,还探讨了这种新型等腰闪耀光栅的灰度掩模二元光学加工方法.
設計瞭一種新型同麵相位補償型等腰閃耀光柵.等腰設計保證瞭正負衍射級對稱分佈在光柵法線兩側;通過優化設計同麵相位補償槽的大小,可使衍射能量嚮中間級次轉移,隻保留兩箇衍射極大值方嚮,抑製0級和高衍射級能量分佈,避免能量的浪費,而且降低瞭高衍射級次光線因刻線阻擋導緻的散射譟聲,解決瞭加工對準與多次衍射的難題.通過理論建模和計算機倣真,分析瞭與反麵相位補償等腰閃耀光柵的差異,繪製瞭典型的衍射光彊分佈圖.另外,還探討瞭這種新型等腰閃耀光柵的灰度掩模二元光學加工方法.
설계료일충신형동면상위보상형등요섬요광책.등요설계보증료정부연사급대칭분포재광책법선량측;통과우화설계동면상위보상조적대소,가사연사능량향중간급차전이,지보류량개연사겁대치방향,억제0급화고연사급능량분포,피면능량적낭비,이차강저료고연사급차광선인각선조당도치적산사조성,해결료가공대준여다차연사적난제.통과이론건모화계산궤방진,분석료여반면상위보상등요섬요광책적차이,회제료전형적연사광강분포도.령외,환탐토료저충신형등요섬요광책적회도엄모이원광학가공방법.
