传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
504-508
,共5页
冯丽爽%于怀勇%洪灵菲%杨德伟%杜哲峰
馮麗爽%于懷勇%洪靈菲%楊德偉%杜哲峰
풍려상%우부용%홍령비%양덕위%두철봉
微光学陀螺%耦合器%谐振腔%硅基二氧化硅
微光學陀螺%耦閤器%諧振腔%硅基二氧化硅
미광학타라%우합기%해진강%규기이양화규
提出一种应用于微型光学陀螺的谐振腔的优化设计方案,优化设计方案同时兼顾微型光学陀螺精度要求与其系统微型化设计.光波导材料为传输损耗为0.01 dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低了谐振腔内部的损耗,使得谐振腔内损耗仅为0.5 dB,利于谐振腔的高精度;光波导结构采用准单模矩形结构,利用腔中的弯曲波导对一阶模的有效滤除实现了光的基模传输,利于谐振腔的小型化;此外分析了波导的传输损耗、波导耦合器分光比对谐振腔性能及陀螺极限灵敏度的影响,得出波导耦合器分光比的优化参数,并仿真得到谐振腔的谐振清晰度达到70以上.假定在激光光源线宽为30 kHz,探测器响应度0.95 A/W,积分时间为10 s的条件下,仿真得到系统的极限灵敏度为1.6°/h左右.最后实验验证了此优化设计方法是有效可行的.
提齣一種應用于微型光學陀螺的諧振腔的優化設計方案,優化設計方案同時兼顧微型光學陀螺精度要求與其繫統微型化設計.光波導材料為傳輸損耗為0.01 dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低瞭諧振腔內部的損耗,使得諧振腔內損耗僅為0.5 dB,利于諧振腔的高精度;光波導結構採用準單模矩形結構,利用腔中的彎麯波導對一階模的有效濾除實現瞭光的基模傳輸,利于諧振腔的小型化;此外分析瞭波導的傳輸損耗、波導耦閤器分光比對諧振腔性能及陀螺極限靈敏度的影響,得齣波導耦閤器分光比的優化參數,併倣真得到諧振腔的諧振清晰度達到70以上.假定在激光光源線寬為30 kHz,探測器響應度0.95 A/W,積分時間為10 s的條件下,倣真得到繫統的極限靈敏度為1.6°/h左右.最後實驗驗證瞭此優化設計方法是有效可行的.
제출일충응용우미형광학타라적해진강적우화설계방안,우화설계방안동시겸고미형광학타라정도요구여기계통미형화설계.광파도재료위전수손모위0.01 dB/cm적규기이양화규재료,유효적강저료해진강내부적손모,사득해진강내손모부위0.5 dB,리우해진강적고정도;광파도결구채용준단모구형결구,이용강중적만곡파도대일계모적유효려제실현료광적기모전수,리우해진강적소형화;차외분석료파도적전수손모、파도우합기분광비대해진강성능급타라겁한령민도적영향,득출파도우합기분광비적우화삼수,병방진득도해진강적해진청석도체도70이상.가정재격광광원선관위30 kHz,탐측기향응도0.95 A/W,적분시간위10 s적조건하,방진득도계통적겁한령민도위1.6°/h좌우.최후실험험증료차우화설계방법시유효가행적.
