传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
490-493
,共4页
刘晓为%王超%谭晓昀%董长春
劉曉為%王超%譚曉昀%董長春
류효위%왕초%담효윤%동장춘
双轴%差分电容%时分%信号检测
雙軸%差分電容%時分%信號檢測
쌍축%차분전용%시분%신호검측
在研究体硅电容式双轴加速度计结构部分,分析差分电容检测方法的基础上,提出了一种适合该加速度计的新型信号检测方法,此方法可有效地将两轴的混叠信号分别进行输出.通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.且依据0.5μmCMOS N阱工艺参数对总体电路进行模拟仿真,5 V单电源供电,微加速度计单轴灵敏度为50 mV/gn,频响为2.3 kHz,量程为±50 gn.
在研究體硅電容式雙軸加速度計結構部分,分析差分電容檢測方法的基礎上,提齣瞭一種適閤該加速度計的新型信號檢測方法,此方法可有效地將兩軸的混疊信號分彆進行輸齣.通過HSPICE軟件倣真驗證瞭該方法的可行性.且依據0.5μmCMOS N阱工藝參數對總體電路進行模擬倣真,5 V單電源供電,微加速度計單軸靈敏度為50 mV/gn,頻響為2.3 kHz,量程為±50 gn.
재연구체규전용식쌍축가속도계결구부분,분석차분전용검측방법적기출상,제출료일충괄합해가속도계적신형신호검측방법,차방법가유효지장량축적혼첩신호분별진행수출.통과HSPICE연건방진험증료해방법적가행성.차의거0.5μmCMOS N정공예삼수대총체전로진행모의방진,5 V단전원공전,미가속도계단축령민도위50 mV/gn,빈향위2.3 kHz,량정위±50 gn.
