天津理工大学学报
天津理工大學學報
천진리공대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2008年
1期
21-23,41
,共4页
陈琦%常明%曲长庆%陈发亮%沈锋英
陳琦%常明%麯長慶%陳髮亮%瀋鋒英
진기%상명%곡장경%진발량%침봉영
金刚石膜%大面积%HFCVD%系统设计%热丝架
金剛石膜%大麵積%HFCVD%繫統設計%熱絲架
금강석막%대면적%HFCVD%계통설계%열사가
介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220 mm,膜沉积速率为1～2 μm/h.
介紹熱絲化學氣相沉積(HFCVD)法沉積大麵積金剛石膜的設備的原理和設計,設備主要包括真空繫統、水冷繫統、熱絲架、供氣繫統以及電路繫統,給齣瞭該設備的性能指標參數.該設備可以用于沉積高質量的大麵積金剛石膜,沉積的金剛石薄厚膜直徑最大可達220 mm,膜沉積速率為1～2 μm/h.
개소열사화학기상침적(HFCVD)법침적대면적금강석막적설비적원리화설계,설비주요포괄진공계통、수랭계통、열사가、공기계통이급전로계통,급출료해설비적성능지표삼수.해설비가이용우침적고질량적대면적금강석막,침적적금강석박후막직경최대가체220 mm,막침적속솔위1～2 μm/h.
