无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
3期
531-534
,共4页
张亦文%李效民%赵俊亮%于伟东%高相东%吴峰
張亦文%李效民%趙俊亮%于偉東%高相東%吳峰
장역문%리효민%조준량%우위동%고상동%오봉
脉冲激光沉积法%SrTiO3薄膜%缓冲层%结晶度
脈遲激光沉積法%SrTiO3薄膜%緩遲層%結晶度
맥충격광침적법%SrTiO3박막%완충층%결정도
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrInxTi1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能,表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致薄膜结晶度降低,通过引入本征STO缓冲层可有效提高In掺杂STO薄膜的结晶度,增强薄膜的(200)择优取向性.然而随In掺杂量的增加,薄膜表面平均粗糙度增大;生长模式由层状生长转变为岛状-层状复合模式;拉曼一次声子振动模式峰强逐渐增强,说明薄膜的晶体对称性降低.
採用脈遲激光沉積(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)襯底上,生長不同In摻雜量的SrInxTi1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In摻雜及本徵SrTiO3(STO)緩遲層對薄膜結晶性能,錶麵形貌、生長模式及紫外拉曼光譜特性的影響.結果錶明,In摻雜導緻薄膜結晶度降低,通過引入本徵STO緩遲層可有效提高In摻雜STO薄膜的結晶度,增彊薄膜的(200)擇優取嚮性.然而隨In摻雜量的增加,薄膜錶麵平均粗糙度增大;生長模式由層狀生長轉變為島狀-層狀複閤模式;拉曼一次聲子振動模式峰彊逐漸增彊,說明薄膜的晶體對稱性降低.
채용맥충격광침적(PLD)방법재MgO/TiN/Si(100)츤저상,생장불동In참잡량적SrInxTi1-xO3(x=0、0.1、0.2)박막,연구In참잡급본정SrTiO3(STO)완충층대박막결정성능,표면형모、생장모식급자외랍만광보특성적영향.결과표명,In참잡도치박막결정도강저,통과인입본정STO완충층가유효제고In참잡STO박막적결정도,증강박막적(200)택우취향성.연이수In참잡량적증가,박막표면평균조조도증대;생장모식유층상생장전변위도상-층상복합모식;랍만일차성자진동모식봉강축점증강,설명박막적정체대칭성강저.
