真空
真空
진공
VACUUM
2008年
2期
43-45
,共3页
李训栓%宋长安%彭应全%杨青森%赵明
李訓栓%宋長安%彭應全%楊青森%趙明
리훈전%송장안%팽응전%양청삼%조명
有机半导体薄膜%低温辐射式加热器%衬底加热器
有機半導體薄膜%低溫輻射式加熱器%襯底加熱器
유궤반도체박막%저온복사식가열기%츤저가열기
针对有机半导体材料的蒸发温度低的特点,设计并制作了低温辐射式加热器和衬底加热器.低温辐射式加热器能有效的克服传统加热源在制备有机半导体薄膜过程中的缺点.衬底加热器也能明显的改善有机半导体薄膜的表面形貌.采用低温辐射式加热器和衬底加热器对有机半导体材料进行蒸发或溅射镀膜能够取得良好效果.其制作成本低,加热效率高,同时又能提高原有设备功效,在教学和科研生产中有着广泛的应用前景.
針對有機半導體材料的蒸髮溫度低的特點,設計併製作瞭低溫輻射式加熱器和襯底加熱器.低溫輻射式加熱器能有效的剋服傳統加熱源在製備有機半導體薄膜過程中的缺點.襯底加熱器也能明顯的改善有機半導體薄膜的錶麵形貌.採用低溫輻射式加熱器和襯底加熱器對有機半導體材料進行蒸髮或濺射鍍膜能夠取得良好效果.其製作成本低,加熱效率高,同時又能提高原有設備功效,在教學和科研生產中有著廣汎的應用前景.
침대유궤반도체재료적증발온도저적특점,설계병제작료저온복사식가열기화츤저가열기.저온복사식가열기능유효적극복전통가열원재제비유궤반도체박막과정중적결점.츤저가열기야능명현적개선유궤반도체박막적표면형모.채용저온복사식가열기화츤저가열기대유궤반도체재료진행증발혹천사도막능구취득량호효과.기제작성본저,가열효솔고,동시우능제고원유설비공효,재교학화과연생산중유착엄범적응용전경.
