硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2008年
8期
1178-1182
,共5页
李军%朱永伟%左敦稳%朱镛%陈创天
李軍%硃永偉%左敦穩%硃鏞%陳創天
리군%주영위%좌돈은%주용%진창천
掺钕钇铝石榴石陶瓷%表面%化学机械抛光%粗糙度%平面度
摻釹釔鋁石榴石陶瓷%錶麵%化學機械拋光%粗糙度%平麵度
참녀을려석류석도자%표면%화학궤계포광%조조도%평면도
用化学机械抛光法加工掺钕钇铝石榴石(Nd:Y3Al5O12,Nd:YAG)透明陶瓷.为了提高加工效率,在研磨阶段逐步减小B4C磨料的粒径,精密研磨和抛光阶段采用粒度为3,1 μm和0.3 μm氧化铝粉;最后,选用胶体二氧化硅作为抛光液进行化学机械抛光,以获得更好的表面光洁度.采用Wkyo激光干涉仪测量加工样品的平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和微观形貌.结果表明:采用该工艺可实现高效率、高精度Nd:YAG透明陶瓷的超精密加工,加工后的Nd:YAG陶瓷表面粗糙度<0.2 nm RMS(root mean square),平面度<λ/10 (λ=633 nm),微观损伤少.
用化學機械拋光法加工摻釹釔鋁石榴石(Nd:Y3Al5O12,Nd:YAG)透明陶瓷.為瞭提高加工效率,在研磨階段逐步減小B4C磨料的粒徑,精密研磨和拋光階段採用粒度為3,1 μm和0.3 μm氧化鋁粉;最後,選用膠體二氧化硅作為拋光液進行化學機械拋光,以穫得更好的錶麵光潔度.採用Wkyo激光榦涉儀測量加工樣品的平麵度,光學顯微鏡觀察錶麵宏觀損傷,原子力顯微鏡測量錶麵粗糙度和微觀形貌.結果錶明:採用該工藝可實現高效率、高精度Nd:YAG透明陶瓷的超精密加工,加工後的Nd:YAG陶瓷錶麵粗糙度<0.2 nm RMS(root mean square),平麵度<λ/10 (λ=633 nm),微觀損傷少.
용화학궤계포광법가공참녀을려석류석(Nd:Y3Al5O12,Nd:YAG)투명도자.위료제고가공효솔,재연마계단축보감소B4C마료적립경,정밀연마화포광계단채용립도위3,1 μm화0.3 μm양화려분;최후,선용효체이양화규작위포광액진행화학궤계포광,이획득경호적표면광길도.채용Wkyo격광간섭의측량가공양품적평면도,광학현미경관찰표면굉관손상,원자력현미경측량표면조조도화미관형모.결과표명:채용해공예가실현고효솔、고정도Nd:YAG투명도자적초정밀가공,가공후적Nd:YAG도자표면조조도<0.2 nm RMS(root mean square),평면도<λ/10 (λ=633 nm),미관손상소.
