CAJ | 학술논문

基于QCM的气体传感器具有灵敏度高、结构简单等优点,是有潜力的气体传感器.但是,存在着选择性差的问题,而工作过程环境气体因素,如水蒸汽、有机挥发性气体(VOCs)等的影响,是必须解决的问题.首先,以石英晶体微天平传感器(QCM)为测试平台,研究以纳米ZnO作为敏感膜的湿度检测敏感特性.实验结果表明:纳米氧化锌作为敏感膜,在一定的湿度范围内有很高的灵敏度和重复性.其次,用六甲基二硅胺烷(Hexamethyl disilazane,HMDS)对纳米ZnO膜进行处理时发现,与未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比较,该纳米ZnO对湿度的响应敏感度明显降低,特别是在高湿度时.进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇仍有很好的响应.该种特性可以被用来开发对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器.
기우QCM적기체전감기구유령민도고、결구간단등우점,시유잠력적기체전감기.단시,존재착선택성차적문제,이공작과정배경기체인소,여수증기、유궤휘발성기체(VOCs)등적영향,시필수해결적문제.수선,이석영정체미천평전감기(QCM)위측시평태,연구이납미ZnO작위민감막적습도검측민감특성.실험결과표명:납미양화자작위민감막,재일정적습도범위내유흔고적령민도화중복성.기차,용륙갑기이규알완(Hexamethyl disilazane,HMDS)대납미ZnO막진행처리시발현,여미용HMDS처리적납미ZnO막상비교,해납미ZnO대습도적향응민감도명현강저,특별시재고습도시.진일보적연구발현,용HMDS처리후적납미ZnO막대유궤기체,여을순잉유흔호적향응.해충특성가이피용래개발대수증기구유항간우능력적기체전감기.