CAJ | 학술논문

为进一步提高高通光率网栅的电磁屏蔽性能,满足其环境适应性要求,针对线宽约9 μm、膜厚约0.3 μm、周期为400 μm×400 μm的细薄铜网进行了镀镍工艺实验.首先,经涂胶、直写、显影、镀铜、去胶等工序,在K9基底上制备出细薄铜网栅试件.然后,对试件超声波除油,用10%的HCl溶液浸泡试件10～15 s进行镀前活化处理.接着,将试件放入按成分要求配制好的化学镀镍溶液中,在恒温85℃条件下化学镀镍40～60 min.最后,从化学镀镍溶液中取出试件,放入烘箱烘干,缓慢冷却至室温.实验结果显示:得到的试件镀层均匀、结合力强;用同轴法测试网栅化学镀镍后的电磁屏蔽效能达到32 dBm,比未镀镍前提高了11 dBm,且试件镀镍工艺导致的在400～800 nm波段的平均透过率下降小于1%.这些结果表明,在细薄铜网上能够镀制较好的镍层,可以在基本不影响光学透过率的前提下显著提高其电磁屏蔽效能和环境适应性.
위진일보제고고통광솔망책적전자병폐성능,만족기배경괄응성요구,침대선관약9 μm、막후약0.3 μm、주기위400 μm×400 μm적세박동망진행료도얼공예실험.수선,경도효、직사、현영、도동、거효등공서,재K9기저상제비출세박동망책시건.연후,대시건초성파제유,용10%적HCl용액침포시건10～15 s진행도전활화처리.접착,장시건방입안성분요구배제호적화학도얼용액중,재항온85℃조건하화학도얼40～60 min.최후,종화학도얼용액중취출시건,방입홍상홍간,완만냉각지실온.실험결과현시:득도적시건도층균균、결합력강;용동축법측시망책화학도얼후적전자병폐효능체도32 dBm,비미도얼전제고료11 dBm,차시건도얼공예도치적재400～800 nm파단적평균투과솔하강소우1%.저사결과표명,재세박동망상능구도제교호적얼층,가이재기본불영향광학투과솔적전제하현저제고기전자병폐효능화배경괄응성.