无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2002年
1期
125-130
,共6页
叶扬%丁爱丽%唐新桂%罗维根
葉颺%丁愛麗%唐新桂%囉維根
협양%정애려%당신계%라유근
BST薄膜%溶胶-凝胶法%乙二醇%P-E电滞回线
BST薄膜%溶膠-凝膠法%乙二醇%P-E電滯迴線
BST박막%용효-응효법%을이순%P-E전체회선
研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并降低薄膜的结晶温度.利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度与成相的关系.厚度200nm,O2气氛中700°C处理15min后的BST薄膜具有良好的介电性能,100kHz时介电常数ε>400,介电损耗D<0.02;P-E电滞回线说明薄膜具有良好的铁电性能,剩余极化Pr约为1.4μC/cm2,矫顽场强Ec约为48kV/cm.
研究瞭一種以乙二醇為穩定劑的新的BST前驅液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地製備齣具有優良電學性能的Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加瞭前驅液的穩定性,併降低薄膜的結晶溫度.利用XRD、DTA等技術分析瞭凝膠熱處理過程中相變化情況及薄膜厚度與成相的關繫.厚度200nm,O2氣氛中700°C處理15min後的BST薄膜具有良好的介電性能,100kHz時介電常數ε>400,介電損耗D<0.02;P-E電滯迴線說明薄膜具有良好的鐵電性能,剩餘極化Pr約為1.4μC/cm2,矯頑場彊Ec約為48kV/cm.
연구료일충이을이순위은정제적신적BST전구액,용sol-gel법재Pt/Ti/SiO2/Si(100)기저상성공지제비출구유우량전학성능적Ba0.7Sr0.3TiO3박막.을이순적가입유효지증가료전구액적은정성,병강저박막적결정온도.이용XRD、DTA등기술분석료응효열처리과정중상변화정황급박막후도여성상적관계.후도200nm,O2기분중700°C처리15min후적BST박막구유량호적개전성능,100kHz시개전상수ε>400,개전손모D<0.02;P-E전체회선설명박막구유량호적철전성능,잉여겁화Pr약위1.4μC/cm2,교완장강Ec약위48kV/cm.
