光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2003年
3期
512-514
,共3页
类金刚石%Raman光谱%XPS%sp3
類金剛石%Raman光譜%XPS%sp3
류금강석%Raman광보%XPS%sp3
本文使用Raman光谱和X-射线光电子能谱(XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究.采用4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理,并由此对膜中sp3键的百分含量PD进行了定量计算;同时还采用3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算.两种方法均得到膜中sp3含量在20%～40%之间,且随沉积时间的增加而增加.
本文使用Raman光譜和X-射線光電子能譜(XPS)的分析方法對錶麵波等離子體沉積的類金剛石(DLC)薄膜的結構進行瞭研究.採用4峰的高斯解譜的方法對不同沉積時間的膜的Raman譜進行處理,併由此對膜中sp3鍵的百分含量PD進行瞭定量計算;同時還採用3峰的高斯解譜方法對不同沉積時間的膜的光電子能譜進行處理,也對膜中sp3鍵的百分含量進行瞭計算.兩種方法均得到膜中sp3含量在20%～40%之間,且隨沉積時間的增加而增加.
본문사용Raman광보화X-사선광전자능보(XPS)적분석방법대표면파등리자체침적적류금강석(DLC)박막적결구진행료연구.채용4봉적고사해보적방법대불동침적시간적막적Raman보진행처리,병유차대막중sp3건적백분함량PD진행료정량계산;동시환채용3봉적고사해보방법대불동침적시간적막적광전자능보진행처리,야대막중sp3건적백분함량진행료계산.량충방법균득도막중sp3함량재20%～40%지간,차수침적시간적증가이증가.
