太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2004年
2期
133-137
,共5页
吴虎才%许颖%王文静%励旭东%叶小琴%周宏余
吳虎纔%許穎%王文靜%勵旭東%葉小琴%週宏餘
오호재%허영%왕문정%려욱동%협소금%주굉여
SOI%化学汽相沉积%薄膜%电池转换效率
SOI%化學汽相沉積%薄膜%電池轉換效率
SOI%화학기상침적%박막%전지전환효솔
用注氧隔离法在单晶硅衬底中形成SiO2隔离层,制备成SOI(Silicon On Insulator)衬底,用快速化学汽相沉积(RTCVD)法在此衬底上制备硅薄膜,热扩散形成PN结,制备成薄膜太阳电池,电池表面钝化及减反膜采用的是等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法制备的SN,薄膜电池的电极全部由正面引出,制成的23μm厚薄膜电池的光电转换效率为8.12%(1×1cm2,AM1.5,23℃).扩展电阻的测量表明电池有良好的PN结特性;量子效率测量表明SiN比常规的热氧化SiO2有更好的减反射和钝化作用;电池的暗特性表明电池具有较高的串联电阻,并分析了正面引电极对串联电阻的影响.
用註氧隔離法在單晶硅襯底中形成SiO2隔離層,製備成SOI(Silicon On Insulator)襯底,用快速化學汽相沉積(RTCVD)法在此襯底上製備硅薄膜,熱擴散形成PN結,製備成薄膜太暘電池,電池錶麵鈍化及減反膜採用的是等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)方法製備的SN,薄膜電池的電極全部由正麵引齣,製成的23μm厚薄膜電池的光電轉換效率為8.12%(1×1cm2,AM1.5,23℃).擴展電阻的測量錶明電池有良好的PN結特性;量子效率測量錶明SiN比常規的熱氧化SiO2有更好的減反射和鈍化作用;電池的暗特性錶明電池具有較高的串聯電阻,併分析瞭正麵引電極對串聯電阻的影響.
용주양격리법재단정규츤저중형성SiO2격리층,제비성SOI(Silicon On Insulator)츤저,용쾌속화학기상침적(RTCVD)법재차츤저상제비규박막,열확산형성PN결,제비성박막태양전지,전지표면둔화급감반막채용적시등리자증강화학기상침적(PECVD)방법제비적SN,박막전지적전겁전부유정면인출,제성적23μm후박막전지적광전전환효솔위8.12%(1×1cm2,AM1.5,23℃).확전전조적측량표명전지유량호적PN결특성;양자효솔측량표명SiN비상규적열양화SiO2유경호적감반사화둔화작용;전지적암특성표명전지구유교고적천련전조,병분석료정면인전겁대천련전조적영향.
