PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究
PERKIN-ELMER 340광각궤적필배연구
The Study on the Match of Micro Align Models 340
  • 万方数据
    辽宁大学学报（自然科学版） 료녕대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
    2005年 4期 348-349 ,共2页

    吴春瑜%黄路秋%陈东石%王卫民

    오춘유%황로추%진동석%왕위민

    扫描畸变%交叉畸变%匹配 掃描畸變%交扠畸變%匹配
    소묘기변%교차기변%필배
    叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨.最后给出了试验数据.
    서술료340광각궤발생기변적원인,병해석료십요시교차기변,십요시소묘기변,병대여하진행량태340광각궤적필배진행료탐토.최후급출료시험수거.
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