粉末冶金技术
粉末冶金技術
분말야금기술
POWDER METALLURGY TECHNOLOGY
2005年
5期
383-387
,共5页
沈保罗%王均%张铁邦%高见%冯浩%黄四九
瀋保囉%王均%張鐵邦%高見%馮浩%黃四九
침보라%왕균%장철방%고견%풍호%황사구
Ti-Si-N%化学气相沉积%物理气相沉积%涂层%微观结构%性能
Ti-Si-N%化學氣相沉積%物理氣相沉積%塗層%微觀結構%性能
Ti-Si-N%화학기상침적%물리기상침적%도층%미관결구%성능
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响.在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4 基体上的复合涂层 (nc-TiN/a-Si3N4).该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用.
本文對納米晶Ti-Si-N超硬塗層材料國內外研究進展進行瞭繫統的迴顧,著重分析瞭製備方法(等離子增彊化學氣相沉積, 等離子輔助化學氣相沉積,直流磁控濺射和射頻磁控濺射等)、工藝參數(沉積溫度,進氣比)和硅含量對Ti-Si-N微觀結構、硬度、抗氧化性、耐腐蝕性和耐磨性的影響.在閤適的工藝條件下,能穫得硬度最高的納米TiN晶體鑲嵌在非晶態的Si3N4 基體上的複閤塗層 (nc-TiN/a-Si3N4).該塗層有良好的性能併將得到廣汎的應用.
본문대납미정Ti-Si-N초경도층재료국내외연구진전진행료계통적회고,착중분석료제비방법(등리자증강화학기상침적, 등리자보조화학기상침적,직류자공천사화사빈자공천사등)、공예삼수(침적온도,진기비)화규함량대Ti-Si-N미관결구、경도、항양화성、내부식성화내마성적영향.재합괄적공예조건하,능획득경도최고적납미TiN정체양감재비정태적Si3N4 기체상적복합도층 (nc-TiN/a-Si3N4).해도층유량호적성능병장득도엄범적응용.
