复旦学报（自然科学版）
複旦學報（自然科學版）
복단학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUDAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
1期
96-99,105
,共5页
王蓓%陈忠浩%陆海纬%宋云%曹永明%曾(韋華)
王蓓%陳忠浩%陸海緯%宋雲%曹永明%曾(韋華)
왕배%진충호%륙해위%송운%조영명%증(위화)
聚焦离子束%无掩膜离子注入%溅射%刻蚀%离子束流%饱和剂量
聚焦離子束%無掩膜離子註入%濺射%刻蝕%離子束流%飽和劑量
취초리자속%무엄막리자주입%천사%각식%리자속류%포화제량
随着聚焦离子束(focused ion beam, FIB)无掩膜微细加工能力的迅速发展,结合精确定位能力,FIB已成为新型且出色的纳米制造工具.对FIB无掩膜注入单晶硅衬底的注入效果与离子束流、注入剂量的关系进行研究发现,以固定能量注入的离子,当注入剂量恒定,离子浓度随深度的分布与离子束流大小无关;当离子束流恒定,注入离子的表面浓度随注入剂量的增加而增加,但是由于FIB注入的同时会刻蚀材料表面,注入剂量达到饱和值后,会造成材料一定程度的减薄.
隨著聚焦離子束(focused ion beam, FIB)無掩膜微細加工能力的迅速髮展,結閤精確定位能力,FIB已成為新型且齣色的納米製造工具.對FIB無掩膜註入單晶硅襯底的註入效果與離子束流、註入劑量的關繫進行研究髮現,以固定能量註入的離子,噹註入劑量恆定,離子濃度隨深度的分佈與離子束流大小無關;噹離子束流恆定,註入離子的錶麵濃度隨註入劑量的增加而增加,但是由于FIB註入的同時會刻蝕材料錶麵,註入劑量達到飽和值後,會造成材料一定程度的減薄.
수착취초리자속(focused ion beam, FIB)무엄막미세가공능력적신속발전,결합정학정위능력,FIB이성위신형차출색적납미제조공구.대FIB무엄막주입단정규츤저적주입효과여리자속류、주입제량적관계진행연구발현,이고정능량주입적리자,당주입제량항정,리자농도수심도적분포여리자속류대소무관;당리자속류항정,주입리자적표면농도수주입제량적증가이증가,단시유우FIB주입적동시회각식재료표면,주입제량체도포화치후,회조성재료일정정도적감박.
