华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2007年
3期
5-7,59
,共4页
朱道云%郑昌喜%陈弟虎%何振辉
硃道雲%鄭昌喜%陳弟虎%何振輝
주도운%정창희%진제호%하진휘
阴极真空电弧离子沉积%占空比%MgO薄膜%等离子体显示板(PDP)
陰極真空電弧離子沉積%佔空比%MgO薄膜%等離子體顯示闆(PDP)
음겁진공전호리자침적%점공비%MgO박막%등리자체현시판(PDP)
采用阴极真空电弧离子沉积技术在玻璃衬底上制备出了具有择优取向的透明MgO薄膜.利用卢瑟福背散射谱、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及紫外-可见吸收光谱仪分别对MgO薄膜的成分、结构、表面形貌及可见光透过率进行了分析.结果表明:MgO薄膜具有(100)和(110)两种取向,且择优取向趋势不随占空比的变化而变化.随着占空比的增大,脉冲偏压为-150V时制备的MgO薄膜中Mg和O的原子含量之比逐渐增大,占空比为30%时,n(Mg)∶n(O)接近1∶1;SEM图表明,晶粒尺寸随着占空比的增大几乎没有发生明显的改变;在350～900nm范围内,MgO薄膜的可见光透过率可以达到90%以上.
採用陰極真空電弧離子沉積技術在玻璃襯底上製備齣瞭具有擇優取嚮的透明MgO薄膜.利用盧瑟福揹散射譜、X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡及紫外-可見吸收光譜儀分彆對MgO薄膜的成分、結構、錶麵形貌及可見光透過率進行瞭分析.結果錶明:MgO薄膜具有(100)和(110)兩種取嚮,且擇優取嚮趨勢不隨佔空比的變化而變化.隨著佔空比的增大,脈遲偏壓為-150V時製備的MgO薄膜中Mg和O的原子含量之比逐漸增大,佔空比為30%時,n(Mg)∶n(O)接近1∶1;SEM圖錶明,晶粒呎吋隨著佔空比的增大幾乎沒有髮生明顯的改變;在350～900nm範圍內,MgO薄膜的可見光透過率可以達到90%以上.
채용음겁진공전호리자침적기술재파리츤저상제비출료구유택우취향적투명MgO박막.이용로슬복배산사보、X사선연사의、소묘전자현미경급자외-가견흡수광보의분별대MgO박막적성분、결구、표면형모급가견광투과솔진행료분석.결과표명:MgO박막구유(100)화(110)량충취향,차택우취향추세불수점공비적변화이변화.수착점공비적증대,맥충편압위-150V시제비적MgO박막중Mg화O적원자함량지비축점증대,점공비위30%시,n(Mg)∶n(O)접근1∶1;SEM도표명,정립척촌수착점공비적증대궤호몰유발생명현적개변;재350～900nm범위내,MgO박막적가견광투과솔가이체도90%이상.
