半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2008年
11期
961-964,1040
,共5页
韩文爵%王海风%罗春炼%田海兵
韓文爵%王海風%囉春煉%田海兵
한문작%왕해풍%라춘련%전해병
二极管%超细氧化锆%ZnO-B2O3-SiO2%微晶玻璃%增韧%可靠性
二極管%超細氧化鋯%ZnO-B2O3-SiO2%微晶玻璃%增韌%可靠性
이겁관%초세양화고%ZnO-B2O3-SiO2%미정파리%증인%가고성
利用超细ZrO2在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中的同素异构转变带来的体积效应来增加二极管封装玻璃的韧性和二极管的可靠性.在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中添加一定量的超细ZrO2粉粒,弥散均匀,用烧结法制得ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃,使用AKASHI压痕法,测试材料增韧前后的效果.使用XRD测试验证在玻璃封装二极管的工艺温度下能保持t-ZrO2和m-ZrO2晶型应具有的特征相.实验证明添加超细ZrO2后,ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃材料的韧性有很大的提高.经功率二极管玻璃封装工艺流程实验和二极管的理化性能考核,引人适当含量的超细ZrO2能提高玻璃封装二极管的抗热冲击性.
利用超細ZrO2在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中的同素異構轉變帶來的體積效應來增加二極管封裝玻璃的韌性和二極管的可靠性.在ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃中添加一定量的超細ZrO2粉粒,瀰散均勻,用燒結法製得ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃,使用AKASHI壓痕法,測試材料增韌前後的效果.使用XRD測試驗證在玻璃封裝二極管的工藝溫度下能保持t-ZrO2和m-ZrO2晶型應具有的特徵相.實驗證明添加超細ZrO2後,ZnO-B2O3-SiO2微晶玻璃材料的韌性有很大的提高.經功率二極管玻璃封裝工藝流程實驗和二極管的理化性能攷覈,引人適噹含量的超細ZrO2能提高玻璃封裝二極管的抗熱遲擊性.
이용초세ZrO2재ZnO-B2O3-SiO2미정파리중적동소이구전변대래적체적효응래증가이겁관봉장파리적인성화이겁관적가고성.재ZnO-B2O3-SiO2미정파리중첨가일정량적초세ZrO2분립,미산균균,용소결법제득ZnO-B2O3-SiO2미정파리,사용AKASHI압흔법,측시재료증인전후적효과.사용XRD측시험증재파리봉장이겁관적공예온도하능보지t-ZrO2화m-ZrO2정형응구유적특정상.실험증명첨가초세ZrO2후,ZnO-B2O3-SiO2미정파리재료적인성유흔대적제고.경공솔이겁관파리봉장공예류정실험화이겁관적이화성능고핵,인인괄당함량적초세ZrO2능제고파리봉장이겁관적항열충격성.
