CAJ | 학술논문

万方数据

长春理工大学学报(自然科学版) 장춘리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年 4期 45-47 ,共3页

王新%向嵘%田景全%姜德龙%李野%王国政%端木庆铎

왕신%향영%전경전%강덕룡%리야%왕국정%단목경탁

氧化镓薄膜%热退火%结构特性%光学特性氧化鎵薄膜%熱退火%結構特性%光學特性
양화가박막%열퇴화%결구특성%광학특성

采用真空蒸发技术在蓝宝石衬底上制备了氧化镓透明半导体薄膜;研究了热退火对氧化镓薄膜结构、电学和光学等特性的影响.在退火前,氧化镓薄膜是一种无定型的、高阻薄膜.经过退火后转变成多晶薄膜,但薄膜的电学特性变化较小.随着退火温度的升高,氧化镓薄膜逐渐形成了(401)择优取向,薄膜的光学带隙也随之变大,在750℃退火时得到了最大的光学带隙为4.79eV.
채용진공증발기술재람보석츤저상제비료양화가투명반도체박막;연구료열퇴화대양화가박막결구、전학화광학등특성적영향.재퇴화전,양화가박막시일충무정형적、고조박막.경과퇴화후전변성다정박막,단박막적전학특성변화교소.수착퇴화온도적승고,양화가박막축점형성료(401)택우취향,박막적광학대극야수지변대,재750℃퇴화시득도료최대적광학대극위4.79eV.