真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
5期
504-508
,共5页
高璇%辛煜%黄晓江%宁兆元
高璇%辛煜%黃曉江%寧兆元
고선%신욱%황효강%저조원
微感应耦合等离子体%朗谬尔探针%发射光谱%离子密度%电子温度
微感應耦閤等離子體%朗謬爾探針%髮射光譜%離子密度%電子溫度
미감응우합등리자체%랑류이탐침%발사광보%리자밀도%전자온도
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质.本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz.朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降.利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升.
等離子體小型化後往往會產生一些獨特的等離子體性質.本文採用朗謬爾探針和高分辨率髮射光譜技術對不同激髮頻率下產生的小型感應耦閤等離子體進行瞭測量,選用的三種頻率為13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz.朗謬爾探針的實驗結果錶明,隨著射頻輸入功率的增加以及激髮頻率的上升均會導緻等離子體功率吸收的增彊,從而導緻瞭離子密度增大和電子溫度下降.利用瞭氣體追蹤法測量感應放電中的氣體溫度,可以髮現,由于電子誘導加熱的作用,氣體溫度隨氣壓和輸入功率的增加而增加,射頻頻率的提高也有助于等離子體氣體溫度的上升.
등리자체소형화후왕왕회산생일사독특적등리자체성질.본문채용랑류이탐침화고분변솔발사광보기술대불동격발빈솔하산생적소형감응우합등리자체진행료측량,선용적삼충빈솔위13.56MHz,27.12MHz화40.68MHz.랑류이탐침적실험결과표명,수착사빈수입공솔적증가이급격발빈솔적상승균회도치등리자체공솔흡수적증강,종이도치료리자밀도증대화전자온도하강.이용료기체추종법측량감응방전중적기체온도,가이발현,유우전자유도가열적작용,기체온도수기압화수입공솔적증가이증가,사빈빈솔적제고야유조우등리자체기체온도적상승.
