河南大学学报（自然科学版）
河南大學學報（自然科學版）
하남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
3期
248-251
,共4页
陈庆东%杨传径%毛爱霞%姜志刚%刘才龙
陳慶東%楊傳徑%毛愛霞%薑誌剛%劉纔龍
진경동%양전경%모애하%강지강%류재룡
直流热阴极辉光放电%金刚石厚膜%放电电压
直流熱陰極輝光放電%金剛石厚膜%放電電壓
직류열음겁휘광방전%금강석후막%방전전압
利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜,生长速率达到20μm/h,生长厚度达到3mm.为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响.通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出,随着放电电压的增加,沉积速率呈下降趋势,电压在850～950V范围金刚石中石墨和非晶碳明显减少,晶粒均匀,表面晶向以(110)为主,金刚石薄膜的质量显著提高.
利用直流熱陰極輝光放電方法製備齣瞭高品質金剛石厚膜,生長速率達到20μm/h,生長厚度達到3mm.為瞭解其工作特性、優化沉積工藝,本文研究瞭放電電壓對金剛石沉積速率和品質的影響.通過對掃描電鏡、拉曼譜和XRD圖譜分析得齣,隨著放電電壓的增加,沉積速率呈下降趨勢,電壓在850～950V範圍金剛石中石墨和非晶碳明顯減少,晶粒均勻,錶麵晶嚮以(110)為主,金剛石薄膜的質量顯著提高.
이용직류열음겁휘광방전방법제비출료고품질금강석후막,생장속솔체도20μm/h,생장후도체도3mm.위료해기공작특성、우화침적공예,본문연구료방전전압대금강석침적속솔화품질적영향.통과대소묘전경、랍만보화XRD도보분석득출,수착방전전압적증가,침적속솔정하강추세,전압재850～950V범위금강석중석묵화비정탄명현감소,정립균균,표면정향이(110)위주,금강석박막적질량현저제고.
