人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
2期
528-531
,共4页
王小冬%王六定%席彩萍%李昭宁%赵景辉
王小鼕%王六定%席綵萍%李昭寧%趙景輝
왕소동%왕륙정%석채평%리소저%조경휘
碳纳米管%Ni薄膜%催化剂%膜厚
碳納米管%Ni薄膜%催化劑%膜厚
탄납미관%Ni박막%최화제%막후
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以Ni为催化剂,在Si基底上沉积出定向性良好的碳纳米管.用扫描电镜表征了催化剂颗粒大小和相应的碳纳米管形貌.深入研究了催化剂膜厚对碳纳米管牛长的影响.结果表明:不同度的催化剂薄膜经刻蚀形成的颗粒密度、尺寸、分布等对碳纳米管的合成质量起主要作用.催化剂厚度≤5 nm时,形成的颗粒密度较小而且分布不均,制备的碳纳米管产量低、定向性差.催化剂厚度≥15 nm时,形成的颗粒较大,粘连在一起,生长时大部分被非晶碳包覆,几乎没有碳纳米管的生长.催化剂厚度为10 nm时,形成的颗粒密度大、分布较均,制备的碳纳米管纯度高、定向性好.
採用射頻等離子體增彊化學氣相沉積技術,以Ni為催化劑,在Si基底上沉積齣定嚮性良好的碳納米管.用掃描電鏡錶徵瞭催化劑顆粒大小和相應的碳納米管形貌.深入研究瞭催化劑膜厚對碳納米管牛長的影響.結果錶明:不同度的催化劑薄膜經刻蝕形成的顆粒密度、呎吋、分佈等對碳納米管的閤成質量起主要作用.催化劑厚度≤5 nm時,形成的顆粒密度較小而且分佈不均,製備的碳納米管產量低、定嚮性差.催化劑厚度≥15 nm時,形成的顆粒較大,粘連在一起,生長時大部分被非晶碳包覆,幾乎沒有碳納米管的生長.催化劑厚度為10 nm時,形成的顆粒密度大、分佈較均,製備的碳納米管純度高、定嚮性好.
채용사빈등리자체증강화학기상침적기술,이Ni위최화제,재Si기저상침적출정향성량호적탄납미관.용소묘전경표정료최화제과립대소화상응적탄납미관형모.심입연구료최화제막후대탄납미관우장적영향.결과표명:불동도적최화제박막경각식형성적과립밀도、척촌、분포등대탄납미관적합성질량기주요작용.최화제후도≤5 nm시,형성적과립밀도교소이차분포불균,제비적탄납미관산량저、정향성차.최화제후도≥15 nm시,형성적과립교대,점련재일기,생장시대부분피비정탄포복,궤호몰유탄납미관적생장.최화제후도위10 nm시,형성적과립밀도대、분포교균,제비적탄납미관순도고、정향성호.
