仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2008年
3期
1-3
,共3页
摆触式电容压力传感器(TMCPS)%有限元分析%DTMCPS
襬觸式電容壓力傳感器(TMCPS)%有限元分析%DTMCPS
파촉식전용압력전감기(TMCPS)%유한원분석%DTMCPS
与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过栽保护能力等.为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽.与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围.使用有限元分析软件对膜片的变形进行了分析并阐述了传感器的结构和工艺过程.分析结果表明这种新型结构的传感器可以在保持传统结构优点的同时实现更高的灵敏度,更好的线性和更大的线性范围.
與其他類型壓敏器件相比,接觸式電容壓力傳感器(TMCPS)有著明顯的優點,例如較好的線性,高靈敏度和大過栽保護能力等.為瞭達到更好的性能,設計瞭一種新型的接觸式電容壓力傳感器(DTMCPS),這種新型的結構是在傳統的TMCPS的底部電極上刻蝕瞭一箇淺槽.與現有的接觸式電容壓力傳感器相比,這種結構可以實現更好的線性和更大的線性範圍.使用有限元分析軟件對膜片的變形進行瞭分析併闡述瞭傳感器的結構和工藝過程.分析結果錶明這種新型結構的傳感器可以在保持傳統結構優點的同時實現更高的靈敏度,更好的線性和更大的線性範圍.
여기타류형압민기건상비,접촉식전용압력전감기(TMCPS)유착명현적우점,례여교호적선성,고령민도화대과재보호능력등.위료체도경호적성능,설계료일충신형적접촉식전용압력전감기(DTMCPS),저충신형적결구시재전통적TMCPS적저부전겁상각식료일개천조.여현유적접촉식전용압력전감기상비,저충결구가이실현경호적선성화경대적선성범위.사용유한원분석연건대막편적변형진행료분석병천술료전감기적결구화공예과정.분석결과표명저충신형결구적전감기가이재보지전통결구우점적동시실현경고적령민도,경호적선성화경대적선성범위.
