中国制造业信息化
中國製造業信息化
중국제조업신식화
MANUFACTURING INFORMATION ENGINEERING OF CHINA
2009年
9期
13-16
,共4页
戴乐薇%幸研%仇晓黎%汤文成
戴樂薇%倖研%仇曉黎%湯文成
대악미%행연%구효려%탕문성
蒙特卡罗%单晶硅%湿法腐蚀%表面形态
矇特卡囉%單晶硅%濕法腐蝕%錶麵形態
몽특잡라%단정규%습법부식%표면형태
对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法(KLS) 3种动力学蒙特卡罗法的实现过程,讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用,阐述了应用特点.使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序,以(111)晶面的原子移除过程为例,解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点.开发的系统模拟了(311)晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程,刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征.基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算,不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致,较为合理准确.
對比分析瞭BKL、二扠樹搜索以及樹狀結構搜索算法(KLS) 3種動力學矇特卡囉法的實現過程,討論瞭它們在MEMS各嚮異性濕法刻蝕工藝倣真計算中的應用,闡述瞭應用特點.使用樹狀結構搜索算法實現瞭加工倣真程序,以(111)晶麵的原子移除過程為例,解釋瞭矇特卡囉法在刻蝕中的計算特點.開髮的繫統模擬瞭(311)晶麵在KOH刻蝕中錶麵形貌的縯化過程,刻蝕麵能夠很好地再現齣錶麵的微觀特徵.基于KLS的方法能對濕法硅微結構工藝進行倣真計算,不同刻蝕階段的微結構能與實驗結果相一緻,較為閤理準確.
대비분석료BKL、이차수수색이급수상결구수색산법(KLS) 3충동역학몽특잡라법적실현과정,토론료타문재MEMS각향이성습법각식공예방진계산중적응용,천술료응용특점.사용수상결구수색산법실현료가공방진정서,이(111)정면적원자이제과정위례,해석료몽특잡라법재각식중적계산특점.개발적계통모의료(311)정면재KOH각식중표면형모적연화과정,각식면능구흔호지재현출표면적미관특정.기우KLS적방법능대습법규미결구공예진행방진계산,불동각식계단적미결구능여실험결과상일치,교위합리준학.
