苏州科技学院学报(自然科学版)
囌州科技學院學報(自然科學版)
소주과기학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF SUZHOU
2003年
1期
37-42
,共6页
薄膜电感%栅极型%掩膜%品质因数
薄膜電感%柵極型%掩膜%品質因數
박막전감%책겁형%엄막%품질인수
主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性.在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平稳,分别为31Ω、51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1 GHz～6 GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110.
主要討論瞭採用掩膜方法製備的柵極型薄膜電感,報告這些薄膜電感的電感值和品質因數(Q值)在100 MHz～10 GHz範圍的頻譜特性.在此頻率範圍內,兩種樣品的電感值顯示瞭平穩的頻率特性,其數值分彆為130 nH、155 nH;電阻在6 GHz以下也保持平穩,分彆為31Ω、51Ω,在這箇頻率以上,由于高頻趨膚效應而有一定的增大;Q值在1 GHz～6 GHz之間在20以上,併且在6GHz附近分彆達到最大值160和110.
주요토론료채용엄막방법제비적책겁형박막전감,보고저사박막전감적전감치화품질인수(Q치)재100 MHz～10 GHz범위적빈보특성.재차빈솔범위내,량충양품적전감치현시료평은적빈솔특성,기수치분별위130 nH、155 nH;전조재6 GHz이하야보지평은,분별위31Ω、51Ω,재저개빈솔이상,유우고빈추부효응이유일정적증대;Q치재1 GHz～6 GHz지간재20이상,병차재6GHz부근분별체도최대치160화110.
