物理学报
物理學報
물이학보
2005年
7期
3051-3057
,共7页
相移算法多光束干涉%精密测长%不确定度
相移算法多光束榦涉%精密測長%不確定度
상이산법다광속간섭%정밀측장%불학정도
针对多光束干涉原理的相移算法包括算法误差及步长优化等问题,以菲索干涉仪精密测长为应用背景进行了研究.利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;在此基础上,通过数值分析的方法得出了利用菲索干涉仪精密测长的相移步长的优化取值范围和干涉光束最佳初相位差的范围;对余弦依赖算法所引起的光强误差分别就四步法、五步法得出了不同的依赖关系;并对多光束干涉算法中几种主要的误差来源进行了不确定度评估.
針對多光束榦涉原理的相移算法包括算法誤差及步長優化等問題,以菲索榦涉儀精密測長為應用揹景進行瞭研究.利用榦涉光學的基本原理導齣瞭在多束光榦涉(經光學麵多次反射、透射)的情況下榦涉光彊隨相位分佈的精確公式;在此基礎上,通過數值分析的方法得齣瞭利用菲索榦涉儀精密測長的相移步長的優化取值範圍和榦涉光束最佳初相位差的範圍;對餘絃依賴算法所引起的光彊誤差分彆就四步法、五步法得齣瞭不同的依賴關繫;併對多光束榦涉算法中幾種主要的誤差來源進行瞭不確定度評估.
침대다광속간섭원리적상이산법포괄산법오차급보장우화등문제,이비색간섭의정밀측장위응용배경진행료연구.이용간섭광학적기본원리도출료재다속광간섭(경광학면다차반사、투사)적정황하간섭광강수상위분포적정학공식;재차기출상,통과수치분석적방법득출료이용비색간섭의정밀측장적상이보장적우화취치범위화간섭광속최가초상위차적범위;대여현의뢰산법소인기적광강오차분별취사보법、오보법득출료불동적의뢰관계;병대다광속간섭산법중궤충주요적오차래원진행료불학정도평고.
