传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
12期
18-20
,共3页
陈绍军%杨光%冯春岳%李新建
陳紹軍%楊光%馮春嶽%李新建
진소군%양광%풍춘악%리신건
硅纳米孔柱阵列%层次结构%酒敏特性%气体传感器
硅納米孔柱陣列%層次結構%酒敏特性%氣體傳感器
규납미공주진렬%층차결구%주민특성%기체전감기
采用水热腐蚀技术制备了表面同时具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米/纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列(Si-NPA),并测试了其电阻酒敏特性.结果表明:Si-NPA对酒精具有较高的灵敏度和较快的响应时间.Si-NPA良好的酒精敏感性能被归因于Si-NPA的表面结构,即高灵敏度来自于其巨大的比表面积对酒精分子的物理吸附,而快响应时间则来源于其表面规则的硅柱阵列为气体的传输提供有效的通道.Si-NPA独特的层次结构使其有可能在未来硅基薄膜传感器等方面得到应用.
採用水熱腐蝕技術製備瞭錶麵同時具有規則陣列結構和多孔結構的硅微米/納米結構複閤體繫硅納米孔柱陣列(Si-NPA),併測試瞭其電阻酒敏特性.結果錶明:Si-NPA對酒精具有較高的靈敏度和較快的響應時間.Si-NPA良好的酒精敏感性能被歸因于Si-NPA的錶麵結構,即高靈敏度來自于其巨大的比錶麵積對酒精分子的物理吸附,而快響應時間則來源于其錶麵規則的硅柱陣列為氣體的傳輸提供有效的通道.Si-NPA獨特的層次結構使其有可能在未來硅基薄膜傳感器等方麵得到應用.
채용수열부식기술제비료표면동시구유규칙진렬결구화다공결구적규미미/납미결구복합체계규납미공주진렬(Si-NPA),병측시료기전조주민특성.결과표명:Si-NPA대주정구유교고적령민도화교쾌적향응시간.Si-NPA량호적주정민감성능피귀인우Si-NPA적표면결구,즉고령민도래자우기거대적비표면적대주정분자적물리흡부,이쾌향응시간칙래원우기표면규칙적규주진렬위기체적전수제공유효적통도.Si-NPA독특적층차결구사기유가능재미래규기박막전감기등방면득도응용.
