感光科学与光化学
感光科學與光化學
감광과학여광화학
PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2007年
2期
142-146
,共5页
黄蕾%宾月景%黄新%张复实
黃蕾%賓月景%黃新%張複實
황뢰%빈월경%황신%장복실
化学增幅抗蚀剂%光生酸剂%光催化%酞菁
化學增幅抗蝕劑%光生痠劑%光催化%酞菁
화학증폭항식제%광생산제%광최화%태정
通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质,发现该化合物在紫外光照射下可生酸,是一种光生酸剂.由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性能,因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很好的应用潜能.
通過研究對甲苯磺痠酯空心酞菁的性質,髮現該化閤物在紫外光照射下可生痠,是一種光生痠劑.由于酞菁類化閤物本身具有光催化氧化反應的性能,因此這類光生痠劑在光蝕刻技術中將有很好的應用潛能.
통과연구대갑분광산지공심태정적성질,발현해화합물재자외광조사하가생산,시일충광생산제.유우태정류화합물본신구유광최화양화반응적성능,인차저류광생산제재광식각기술중장유흔호적응용잠능.
